螺桿真空泵是容積式真空泵的新成員。它出現(xiàn)在1990年左右，發(fā)展相對(duì)較晚。然而，螺桿真空泵作為一種理想的干泵，自螺桿真空泵廠家生產(chǎn)問世以來(lái)發(fā)展迅速。

開山螺桿真空泵一般為雙螺桿結(jié)構(gòu)。螺桿真空泵是通過一對(duì)不對(duì)稱的螺桿轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步、反向工作，并周期性改變齒間容積的一種吸排氣設(shè)備。

其主要結(jié)構(gòu)包括螺桿轉(zhuǎn)子、軸承、泵體、密封件等，螺桿轉(zhuǎn)子經(jīng)過精細(xì)動(dòng)平衡校正后，由軸承支撐安裝在泵腔內(nèi)。保持螺釘之間的嚴(yán)格間隙。泵工作時(shí)，兩者無(wú)摩擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，腔內(nèi)無(wú)需潤(rùn)滑油。因此，螺桿真空泵在含有大量蒸汽和少量粉塵的情況下可以抽出氣體。具有極限真空度高、功耗低、節(jié)能、免維護(hù)等優(yōu)點(diǎn)。

開山螺桿真空泵的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單。在形式上，螺桿真空泵可分為臥式和立式；根據(jù)螺桿轉(zhuǎn)子形狀的不同，可分為單頭螺桿真空泵和多頭螺桿真空泵；根據(jù)轉(zhuǎn)子螺距的不同，單頭螺桿真空泵可分為等螺距螺桿真空泵和變螺距螺桿真空泵。

可變音高又可細(xì)分為初級(jí)型、二級(jí)型、三級(jí)型等。